光刻机多少钱一台(新一代荷兰光刻机约合25亿)
2023-05-27 22:36:06投稿人 : yq4qlskj围观 : 55 次0 评论
随着半导体技术进入7nm以内，EUV光刻机是不可或缺的关键设备，世界上只有ASML能生产。现在NA 0.33光圈的EUV光刻机价格高达1.5亿美元，约10亿，但下一代会更贵。
在光刻机中制造芯片的关键指标是光刻分辨率，其中透镜的NA数值孔径越大越好。现在NA 0.33口径的EUV光刻机已经可以量产3nm和2nm工艺，接下来就需要下一代NA 0.55口径的光刻机，也就是高NA EUV，这是制造2nm以下工艺所必须的。
高纳EUV预计明年开始向客户生产原型车。这一次，英特尔先发制人，抢购了第一批高NA EUV光刻机。据说单价超过3.4亿美元，约合25亿。
不过，高NA EUV的最终价格还不确定，未来可能会达到4亿美元，超过28亿人民币。
高NA EUV光刻机不仅价格昂贵，而且使用起来也越来越贵，因为功耗会不断上升。ASML最近证实，高NA EUV光刻将额外消耗0.5 MW的功耗，以目前的1.5MW功耗计算，下一代光刻机的总功耗将达到2MW，即200万瓦。
如果一天24小时运行，那么下一代光刻机每天要消耗48000度电，这对芯片厂商来说是非常高的，是绝对的电老虎。
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