旭光电子：孙公司收到国家重点研发计划课题任务书
2023-12-05 20:10:03投稿人 : yq4qlskj围观 : 6 次0 评论
证券日报网讯12月5日晚间，旭光电子发布公告称，公司的孙公司宁夏北瓷新材料科技有限公司于近日收到科学技术部下发的国家重点研发计划课题任务书，课题名称《氮化铝陶瓷组分设计及大尺寸辅热型静电吸盘制造和应用》。
课题简介：针对我国半导体行业对高精度静电吸盘国产化的迫切需求，系统开展12英寸晶圆用大尺寸辅热型氮化铝静电吸盘结构设计、陶瓷材料热学和电学性能协同调控、辅热型静电吸盘制造技术、静电吸盘性能测试表征技术等多方面的研究，突破静电吸盘仿真结构设计、热导率和电阻率可调的组分设计、电介质层和加热层共烧致密化，温度和吸附力均匀性测试等多项关键技术，实现高温度均匀性和高吸附均匀性氮化铝静电吸盘样件的制备，并且完成在半导体制程模拟装置中的示范应用，建立中试生产线，为国产化高性能氮化铝静电吸盘的产业化应用和发展奠定基础。
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